发明名称 VERTICAL HEAT TREATMENT QUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04158513(A) 申请公布日期 1992.06.01
申请号 JP19900283806 申请日期 1990.10.22
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 MIMURA KOJI
分类号 H01L21/285;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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