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经营范围
发明名称
PROCESSING METHOD FOR POLYIMIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH04150054(A)
申请公布日期
1992.05.22
申请号
JP19900274580
申请日期
1990.10.12
申请人
NEC CORP
发明人
TONARI SHINICHI
分类号
H01L21/3213;H01L21/312;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
地址
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