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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04141587(A)
申请公布日期
1992.05.15
申请号
JP19900264374
申请日期
1990.10.01
申请人
NEC CORP
发明人
HIRAMATSU SHINICHI
分类号
C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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