发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04141587(A) 申请公布日期 1992.05.15
申请号 JP19900264374 申请日期 1990.10.01
申请人 NEC CORP 发明人 HIRAMATSU SHINICHI
分类号 C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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