| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0499018(A) |
申请公布日期 |
1992.03.31 |
| 申请号 |
JP19900208732 |
申请日期 |
1990.08.07 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOUKIYOU EREKUTORON KIYUUSHIYUU KK |
发明人 |
IWAZU HARUO |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C11/08;G03F7/20;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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