发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0493029(A) 申请公布日期 1992.03.25
申请号 JP19900209894 申请日期 1990.08.08
申请人 NEC CORP 发明人 MURAYAMA MOTOAKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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