| 发明名称 |
SPUTTERING TYPE ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0488165(A) |
申请公布日期 |
1992.03.23 |
| 申请号 |
JP19900202259 |
申请日期 |
1990.07.30 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
MATSUOKA SHIGETO;ONO KENICHI |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/32;C23C14/35;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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