| 发明名称 |
REMOVAL OF ARSENIC DIRT BY THE USE OF FLUORINE OR CHLORINE FLUORIDE GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0485390(A) |
申请公布日期 |
1992.03.18 |
| 申请号 |
JP19900198709 |
申请日期 |
1990.07.26 |
| 申请人 |
CENTRAL GLASS CO LTD |
发明人 |
MORI ISAMU;KOBAYASHI YOSHIYUKI |
| 分类号 |
C01B7/24;C09K13/08;C23C16/44;C30B35/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C01B7/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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