发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM USING 1,3-DIKETONE TYPE ORGANOMETALLIC COMPLEX
摘要
申请公布号 JPH0474866(A) 申请公布日期 1992.03.10
申请号 JP19900185966 申请日期 1990.07.13
申请人 DOWA MINING CO LTD 发明人 AKASE SHINICHIRO;TAZAKI YUZO;SHINDO MAYUMI
分类号 C23C16/18 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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