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发明名称 VERFAHREN ZUR ALUMINIUMDIFFUSION
摘要
申请公布号 DD298561(A5) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 DD19890327693 申请日期 1989.04.17
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DE 发明人 HADAMOVSKY,HANS-FRIEDRICH,DE;KAMPRATH,WERNER,DE;NOACK,JOACHIM,DE;SIEBER,INA,DE
分类号 H01L21/228;(IPC1-7):H01L21/228 主分类号 H01L21/228
代理机构 代理人
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