发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR LASER
摘要
申请公布号 JPH0439987(A) 申请公布日期 1992.02.10
申请号 JP19900147762 申请日期 1990.06.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ANDO KOJI;YAGI TETSUYA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01S5/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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