微型反应器

摘要

一种微型反应器1，其具备有：真空框体2；配设于此真空框体2的真空密闭腔3内的微型反应器本体4；位于微型反应器本体4的至少1个面之除气发热基板6，微型反应器本体4具有，藉由原料供给管5A来与真空框体2的外部连接之原料导入口19a、及藉由气体排出管5B来与真空框体2的外部连接之气体排出口19b，除气发热基板6具有基板7、在基板7上呈相互非接触状态加以配设之发热体9及除气材层10。