| 发明名称 |
ALUMINUM NITRIDE SINTERED BODY AND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5077244(A) |
申请公布日期 |
1991.12.31 |
| 申请号 |
US19880196212 |
申请日期 |
1988.04.05 |
| 申请人 |
HITACHI METALS, LTD. |
发明人 |
IYORI, YUSUKE;FUKUSHIMA, HIDEKO |
| 分类号 |
C04B35/581;C04B41/50;C04B41/51;C04B41/52;H01L21/48;H01L23/15 |
主分类号 |
C04B35/581 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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