发明名称 PROCEDE DE PRODUCTION DE CONTACTS ELECTRIQUES A HAUT RENDEMENT AVEC DU SILICIUM AMORPHE N+
摘要
申请公布号 FR2614133(B1) 申请公布日期 1991.12.27
申请号 FR19880005093 申请日期 1988.04.18
申请人 GENERAL ELECTRIC CY 发明人 GEORGE EDWARD POSSIN
分类号 H01L21/768;H01L21/285;H01L21/336;H01L23/52;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/302 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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