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发明名称
SILICON WAFER
摘要
申请公布号
JPH03284848(A)
申请公布日期
1991.12.16
申请号
JP19900086381
申请日期
1990.03.30
申请人
KYUSHU ELECTRON METAL CO LTD;OSAKA TITANIUM CO LTD
发明人
KUSABA TATSUMI;TAKADA AKINORI
分类号
H01L21/322
主分类号
H01L21/322
代理机构
代理人
主权项
地址
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