| 发明名称 |
GROWTH OF EPITAXIAL LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03279294(A) |
申请公布日期 |
1991.12.10 |
| 申请号 |
JP19900081907 |
申请日期 |
1990.03.29 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
MURAKAMI YOSHIO;SHINGYOUCHI TAKAYUKI |
| 分类号 |
C30B23/08;C23C14/34;C23C14/35;C30B29/06;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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