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发明名称 MOS SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03273665(A) 申请公布日期 1991.12.04
申请号 JP19900073631 申请日期 1990.03.23
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 ENDO TSUTOMU
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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