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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM TUBE
摘要
申请公布号 JPH03265119(A) 申请公布日期 1991.11.26
申请号 JP19900063841 申请日期 1990.03.14
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKASUJI MAMORU;MORITA KENJI
分类号 H01J37/147;H01J37/30;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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