发明名称 ELECTRIC ARC EVAPORATOR
摘要
申请公布号 JPH03260064(A) 申请公布日期 1991.11.20
申请号 JP19900184400 申请日期 1990.07.13
申请人 TEKUNOROGICHIEN INST PO BAKIYUUMUNI SHISUTEMI 发明人 PAPUKEN EHIEZAA HOFUSEPIAN;DANIERU NIKOROFU DEYUMARIISUKI
分类号 C23C14/06;C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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