发明名称 SURFACE CLEANING DEVICE AND PROCESS
摘要
申请公布号 JPH03255628(A) 申请公布日期 1991.11.14
申请号 JP19900053968 申请日期 1990.03.05
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 AKAZAWA MASAYOSHI;URISU TSUNEO;UCHIUMI YUICHI;TAKAHASHI JUNICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/304 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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