| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING SHORT-CIRCUITING DEPOSITS FROM HIGH-VOLTAGE CATHODES IN A SPUTTERING CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0213716(B1) |
申请公布日期 |
1991.10.02 |
| 申请号 |
EP19860305690 |
申请日期 |
1986.07.24 |
| 申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION |
发明人 |
PHIFER, CLARENCE GARY |
| 分类号 |
C23C14/34;G21C3/20;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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