| 发明名称 |
PROCESS FOR GROWING MONOCRYSTALS OF SEMICONDUCTOR MATERIALS FROM SHALLOW CRUCIBLES BY CZOCHRALSKI TECHNIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0170856(B1) |
申请公布日期 |
1991.09.18 |
| 申请号 |
EP19850107878 |
申请日期 |
1985.06.25 |
| 申请人 |
GENERAL SIGNAL CORPORATION |
发明人 |
LANE, RICHARD L. |
| 分类号 |
C30B15/02;C30B15/10;C30B15/12;H01L21/18;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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