发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03148183(A) 申请公布日期 1991.06.24
申请号 JP19890286451 申请日期 1989.11.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HARA AKITO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/88;H01L49/02 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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