| 发明名称 |
MANUFACTURING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03143838(A) |
申请公布日期 |
1991.06.19 |
| 申请号 |
JP19890277606 |
申请日期 |
1989.10.25 |
| 申请人 |
FUJITSU MIYAGI ELECTRON:KK |
发明人 |
SAKURANAKA HIROYUKI |
| 分类号 |
B65H1/28;B65G1/00;B65G1/07;B65G47/82;B65G49/07;B65H3/24 |
主分类号 |
B65H1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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