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发明名称 DEVELOPING SOLUTION AND PATTERN FORMING METHOD USING SAME
摘要
申请公布号 EP0372790(A3) 申请公布日期 1991.06.12
申请号 EP19890312332 申请日期 1989.11.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO. LTD. 发明人 TAKENAKA, HIROSHI;TODOKORO, YOSHIHIRO
分类号 G03F7/26;G03F7/095;G03F7/30;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/285;H01L21/30;H01L21/335;H01L21/338;(IPC1-7):G03F7/32 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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