发明名称 |
PULLING-UP METHOD FOR SILICON SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03137090(A) |
申请公布日期 |
1991.06.11 |
申请号 |
JP19890276481 |
申请日期 |
1989.10.23 |
申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
KODAMA YOSHIHIRO;ISHIHIRA TETSUYA;SUGANO YUKITSUGU;FURUSE SHINICHI |
分类号 |
C30B15/20;C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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