| 发明名称 |
HIGH PURITY TITANIUM MATERIAL, ITS MANUFACTURE AND SPUTTERING TARGET BY USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03130339(A) |
申请公布日期 |
1991.06.04 |
| 申请号 |
JP19900185734 |
申请日期 |
1990.07.12 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
ISHIGAMI TAKASHI;KAWAI MITSUO;YAGI NORIAKI |
| 分类号 |
C22B9/22;C22B34/12;C22C1/02;C22C14/00;C23C14/34;H01L21/768 |
主分类号 |
C22B9/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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