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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0393242(A) 申请公布日期 1991.04.18
申请号 JP19890229710 申请日期 1989.09.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TOKUYAMA SABURO;WATANABE MASATO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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