发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR FORMING TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH032366(A) |
申请公布日期 |
1991.01.08 |
申请号 |
JP19890133463 |
申请日期 |
1989.05.26 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TSUDA YOSHIYUKI;YASUI HIDEAKI;KODERA KOICHI;MUKAI YUJI |
分类号 |
C23C14/08;C23C14/34;C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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