发明名称 DEVICE AND METHOD FOR FORMING TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
摘要
申请公布号 JPH032366(A) 申请公布日期 1991.01.08
申请号 JP19890133463 申请日期 1989.05.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUDA YOSHIYUKI;YASUI HIDEAKI;KODERA KOICHI;MUKAI YUJI
分类号 C23C14/08;C23C14/34;C23C14/54 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
地址