发明名称 Manipulator apparatus for test head support and orientation
摘要
申请公布号 US4973015(A) 申请公布日期 1990.11.27
申请号 US19880242779 申请日期 1988.09.09
申请人 SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BEAUCOUP, LOUIS;BONCOMPAIN, JEAN
分类号 G01R31/00;B23Q1/48;B25J11/00;G01R1/067;G01R31/28;G12B9/08;H01L21/66 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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