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发明名称 SILICIUM-CONTAINING POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITIONS WITH 1,2 DISULFONES
摘要
申请公布号 EP0329610(A3) 申请公布日期 1990.08.29
申请号 EP19890810101 申请日期 1989.02.06
申请人 CIBA-GEIGY AG 发明人 SCHULZ, REINHARD, DR.;BARTMANN, EKKEHARD, DR.;MUNZEL, HORST, DR.;WEHNER, GREGOR, DR.
分类号 G03F7/004;G03F7/039;G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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