发明名称 HANDLER FOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE TESTER AND ITS HANDLING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02210274(A) 申请公布日期 1990.08.21
申请号 JP19890029636 申请日期 1989.02.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD;MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;YOSHIKAWA SEMICONDUCTOR KK;YOSHIKAWA KOGYO CO LTD 发明人 WATANABE TAKAOMI;IWAYAMA KEIICHI;NAKAGAWA MASAHITO;NAKAMURA YOSHIKAZU
分类号 G01R31/26;G01R31/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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