发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON POSITIV ARBEITENDEN PHOTOLACKEN.
摘要
申请公布号 DE3672469(D1) 申请公布日期 1990.08.09
申请号 DE19863672469 申请日期 1986.11.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 FRECHET, JEAN M. J., OTTAWA ONTARIO, KIV 6Y7, CA;ITO, HIROSHI, SAN JOSE CALIFORNIA, 95139, US;MACDONALD, SCOTT ARTHUR, SAN JOSE CALIFORNIA, 95128, US;WILLSON, CARLTON GRANT, SAN JOSE CALIFORNIA, 95126, US
分类号 G03C5/00;G03F7/039;G03F7/26;G03F7/30;G03F7/36;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/38 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
主权项
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