| 发明名称 |
SCAN TYPE TUNNEL MICROSCOPE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02181601(A) |
申请公布日期 |
1990.07.16 |
| 申请号 |
JP19890000146 |
申请日期 |
1989.01.05 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
ISHIDA FUMIHIKO;YASUNAGA TAMIYOSHI;HAYASHI MASAKAZU |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N23/00;G01N37/00;G01Q10/06;G01Q60/10;G01Q70/02;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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