发明名称 IMPROVEMENTS RELATING TO SPECIMEN CHAMBERS FOR SCANNING ELECTRON BEAM INSTRUMENTS
摘要
申请公布号 GB2186737(B) 申请公布日期 1990.07.04
申请号 GB19860028900 申请日期 1986.12.03
申请人 * CAMBRIDGE INSTRUMENTS LIMITED;JITENDRA SHANTILAL * SHAH 发明人 JITENDRA SHANTILAL * SHAH
分类号 H01J37/20;H01J37/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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