发明名称 TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP
摘要
申请公布号 SU1573235(A1) 申请公布日期 1990.06.23
申请号 SU19884469212 申请日期 1988.08.01
申请人 NII PRIKLADNOJ MATEMATIKI KIBERNETIKI PRI GO G UNIV IM.N.I.LOBACHEVSKOGO 发明人 GARBUZ GALINA A,SU;ZAOZERSKIJ YURIJ P,SU;IVANOV VADIM P,SU;YURCHENKO PETR I,SU
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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