发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON KURZKANALTRANSISTOREN
摘要
申请公布号 DD279351(A1) 申请公布日期 1990.05.30
申请号 DD19890324759 申请日期 1989.01.02
申请人 DRESDEN MIKROELEKTRONIK 发明人 RAAB,MICHAEL,DD;STEGEMANN,KARL-HEINZ,DD
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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