| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM OF MULTI-ELEMENTAL COMPOUND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02122069(A) |
申请公布日期 |
1990.05.09 |
| 申请号 |
JP19880273002 |
申请日期 |
1988.10.31 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
SUZUKI TAKAFUMI;TAKAHARA HIDEYUKI |
| 分类号 |
C01G3/00;C01B13/14;C01G1/00;C23C14/08;C23C14/28;C23C14/58;H01B12/06;H01B13/00;H01L21/203;H01L39/24 |
主分类号 |
C01G3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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