发明名称 MANUFACTURE OF RADIATION DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0282583(A) 申请公布日期 1990.03.23
申请号 JP19880232572 申请日期 1988.09.19
申请人 TOKYO DENSHI YAKIN KENKYUSHO:KK 发明人 ONABE HIDEAKI;OBINATA MITSUGI
分类号 C30B13/00;C30B29/48;H01L21/208;H01L21/368;H01L31/09 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
主权项
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