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发明名称 METHOD OF NEUTRON-TRANSMUTATIONNALLY DOPED SILICON'S CRYSTALLINE LATTICE REGENERATION
摘要
申请公布号 CS268038(B1) 申请公布日期 1990.03.14
申请号 CS19870007534 申请日期 1987.10.19
申请人 ZBORILEK ALES ING. CSC.,CS;MRAZEK DUSAN PROM. CHEM.,CS;DANICEK ZDENEK,CS;ZAMASTIL JAROSLAV RNDR.,CS 发明人 ZBORILEK ALES ING. CSC.,CS;MRAZEK DUSAN PROM. CHEM.,CS;DANICEK ZDENEK,CS;ZAMASTIL JAROSLAV RNDR.,CS
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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