发明名称 |
VIBRATION TYPE SEMICONDUCTOR TRANSDUCER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0238934(A) |
申请公布日期 |
1990.02.08 |
申请号 |
JP19880189857 |
申请日期 |
1988.07.29 |
申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
HARADA KINJI;IKEDA KYOICHI;KUWAYAMA HIDEKI;KOBAYASHI TAKASHI;WATANABE TETSUYA;NISHIKAWA SUNAO;YOSHIDA TAKASHI |
分类号 |
G01L1/10;G01L9/00;H01L29/84;H03B5/30 |
主分类号 |
G01L1/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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