发明名称 VIBRATION TYPE SEMICONDUCTOR TRANSDUCER
摘要
申请公布号 JPH0238934(A) 申请公布日期 1990.02.08
申请号 JP19880189857 申请日期 1988.07.29
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 HARADA KINJI;IKEDA KYOICHI;KUWAYAMA HIDEKI;KOBAYASHI TAKASHI;WATANABE TETSUYA;NISHIKAWA SUNAO;YOSHIDA TAKASHI
分类号 G01L1/10;G01L9/00;H01L29/84;H03B5/30 主分类号 G01L1/10
代理机构 代理人
主权项
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