复合式分子泵

摘要

一种复合式分子泵，涉及流体泵领域。它由涡轮分子泵级与复合排气系统串联而成。其复合排气系统由外侧圆周上是涡轮短叶齿，内侧圆盘面上为抽气沟槽的复合式动叶轮与静叶轮相匹配，并同圆柱螺旋齿动隔离环复合而成。本发明结构简便，运行安全可靠，工作范围及真空性能大大超过了涡轮分子泵，可满足化工、半导体、微电子、核电子、能源、宇航等领域的等离子研究课题PVD，CVD的需要。

主权项

1、一种复合式分子泵，其特征在于由涡轮分子泵级与复合排气系统串联而成。