发明名称 METHOD FOR FABRICATING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 GB2179201(B) 申请公布日期 1990.01.17
申请号 GB19860016735 申请日期 1986.07.09
申请人 * MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 TADASHI * HIRAO
分类号 H01L21/033;H01L21/225;H01L21/285 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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