发明名称 WASHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH029483(A) 申请公布日期 1990.01.12
申请号 JP19880159761 申请日期 1988.06.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OCHIAI MASAYUKI;KOBAYASHI TOSHIHIRO
分类号 B08B7/00;H01L21/304;H05K3/26 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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