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发明名称 WAFER HOLDING MECHANISM OF SEMICONDUCTOR WAFER TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01310554(A) 申请公布日期 1989.12.14
申请号 JP19880142072 申请日期 1988.06.09
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAGARA HIROSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/68;H01L21/683 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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