发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING SIDE-WALL ISOLATION
摘要
申请公布号 EP0227303(A3) 申请公布日期 1989.11.29
申请号 EP19860309083 申请日期 1986.11.20
申请人 PLESSEY OVERSEAS LIMITED 发明人 KENNY, PETER GERARD;HUNT, PETER CHARLES
分类号 H01L21/302;H01L21/033;H01L21/3065;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/316 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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