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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01289125(A) 申请公布日期 1989.11.21
申请号 JP19880118582 申请日期 1988.05.16
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 HENMI MANABU;YOSHINO HIDEO;MURAMOTO SUSUMU
分类号 H01L21/316;H01L21/31;H01L21/324 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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