发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01283877(A) 申请公布日期 1989.11.15
申请号 JP19880113252 申请日期 1988.05.10
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMADA TAKASHI;HIEDA KATSUHIKO;HORIGUCHI FUMIO
分类号 H01L21/76;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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