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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01207940(A)
申请公布日期
1989.08.21
申请号
JP19880033334
申请日期
1988.02.15
申请人
NEC CORP
发明人
YONENAKA KAZUHISA
分类号
G01R31/28;G01R1/073;H01L21/66
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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