发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01207940(A) 申请公布日期 1989.08.21
申请号 JP19880033334 申请日期 1988.02.15
申请人 NEC CORP 发明人 YONENAKA KAZUHISA
分类号 G01R31/28;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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