| 发明名称 |
MOUNTING BEAM FOR PREPARING WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0223249(A3) |
申请公布日期 |
1989.08.09 |
| 申请号 |
EP19860116076 |
申请日期 |
1986.11.20 |
| 申请人 |
PQ CORPORATION |
发明人 |
GIRARD, RICHARD T.;MCLAUGHLIN, JOHN R. |
| 分类号 |
B24B53/00;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/304;(IPC1-7):B28D5/02;B24D3/34;H01L21/00 |
主分类号 |
B24B53/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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