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发明名称 FORMATION OF CRYSTALLINE COMPOUND SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH01157537(A) 申请公布日期 1989.06.20
申请号 JP19880210354 申请日期 1988.08.24
申请人 CANON INC 发明人 TOKUNAGA HIROYUKI;HANNA JUNICHI;SHIMIZU ISAMU
分类号 H01L21/84;H01L21/365 主分类号 H01L21/84
代理机构 代理人
主权项
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